マイクロスキャナ 特集
漏液センサ 特集
はじめに
本特集では、当社が開発中のマイクロスキャナモータについて、紹介いたします。
長年にわたり、積み上げられた精密加工技術により生み出された画期的な製品になります。さまざまな分野で革新的な製品の創出に貢献することが大いに期待されています。
スキャナモータの種類
当社は従来よりポリゴン方式のスキャナモータを展開しております。これをミニマムサイズに飛躍的な小型化を実現したのがマイクロスキャナモータです。その他の一般的なスキャナモータの種類としては、ガルバノメータやMEMSスキャナなどがあげられます。
当社スキャナモータ技術
ポリゴンスキャナモータ | マイクロスキャナモータ | |
![]() ![]() |
![]() 小型化
|
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4面ミラ―を使用の場合、レーザビームをスキャンする広角範囲は 120° にまで及びます。3面ミラ―使用であれば、さらに走査範囲は広角に広がり、一度に複数の面を照射すれば、360° の周囲全てをカバーすることも可能です。 |
モータにより、ポリゴンミラーを回転させるユニットを超小型に構成することにより、小型でありながら、広角範囲のレーザースキャンが可能となります。 |
その他スキャナモータ競合技術
ガルバノメータ | MEMSスキャナ | ||
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一般的に、ガルバノメータの走査範囲は、機械的に ±20°、光学的措置を施しても 80° が限界です。従いまして、ガルバノ単体では、ポリゴンに比べて狭い広角範囲での使用に制限されます。 |
MEMS技術で製造された1枚のミラーのスキャンデバイスです。半導体技術と小型電磁駆動アクチュエータを複合させたデバイスであり、小型化できるメリットがあります。しかし、走査角は 20°~40° が限界です。 |
各方式との比較 ~ マイクロスキャナの優位性 ~
マイクロスキャナ | ガルバノメータ | MEMS | ||
---|---|---|---|---|
小型化 | 〇 | ✖ | ◎ | ◎ |
走査角 | 〇 | ✖ | ✖ | |
再現性 | 〇 | △ | △ | |
解像度 | 〇 | △ | △ | |
耐久性 | 〇 | △ | △ | |
動作速度範囲 | 〇 | △ | ✖ | |
コスト | △ | ✖ | 〇 |
先進技術にマッチした優れたポテンシャル
当社マイクロスキャナは、省スペースなレーザスキャン環境におススメです。いま話題の網膜ディスプレイを使用したウェラブル・デバイスをはじめ、先進的な技術用途へその可能性は無限に広がります。
1. ホログラム, VR


2. AR Glass


3. ヘッドアップディスプレイ


4. LiDAR




5. 三次元測定機 (CMM)


6. 後付けタッチスクリーン


参考仕様
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重量: 2.2 g, サイズ: 下記参照
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回転数 1000 ~ 8000 r/min ジッター 0.01 ~ 0.15 % 面倒れ 80 ~ 200 arcsec モータ電力 (回路除く) 30 mW ~ 500 mW ※開発品のため、予告なく仕様変更となる場合があります。
当社ポリゴンスキャナモータと比べてみた
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