圧力センサとは『流体の圧力』を『電気信号』に変換する圧力変換器です。
当社の圧力センサは、半導体技術を駆使し、半導体センサ素子から最終製品まで自社で一貫生産しています。
センサモジュールのみからアンプを内蔵した圧力センサ、さらにはこれにスイッチ機能や表示器を備えたタイプなど、それぞれタイプ別に標準品を数多く取り揃えています。 また、特殊仕様やさまざまな顧客ニーズにきめ細やかに対応できる事業体制も大きな特長の一つです。
近年では、レシオメトリック出力の小型アンプ内蔵タイプや薄膜素子を採用した高真空対応・高圧領域のセンサ拡充など新製品も積極的にリリースしており、その事業領域を拡大しています。

半導体製造装置、 CVD装置、エッチング装置、空圧機器、FA機器、計測機器、医療機器、産業機器等

遮光板要らずで高感度を実現した液漏れを瞬時に検出するセンサです。
当社の漏液センサは、赤外線反射検出方式を採用しています。遮光板と増幅回路が不要で、独自の光学技術により正確な漏液検出が可能です。小型で薄型(Φ25mm t=10mm)で、液漏れ検知時に表示LEDの切替による視認性も良いです。
また、PFA製品はあらゆる媒体に対応しており、用途に合わせて幅広い分野のご利用が可能です。
鉛フリーに対応しており、ULやCEマーキング取得済み製品です。

半導体製造装置、露光装置、エッチャー、CMP、 洗浄装置、産業用ロボット、医療機器、印刷機等