壓力傳感器專題

1. 引言

壓力傳感器是將氣體或液體等流體的壓力轉換為電信號的壓力轉換器的總稱。壓力傳感器檢測和測量的壓力類型，大致分為以下三種。

①以大氣壓力為基準所表示的壓力大小 = 表壓

②以絕對真空為基準所表示的壓力大小 = 絕壓

③相對於某一任意比較的壓力(基準壓力)所表示的壓力大小 = 差壓

2. 壓力傳感器原理

壓力傳感器在受壓部使用應變片作為壓力敏感元件，通常是將金屬箔式應變片或是膜片粘合到圓柱形彈性體上。由於膜片受到壓力而變形，將這種物理變形引起的電阻變化轉換為電信號以檢測和測量壓力。

日本電產科寶電子提供兩種傳感方式的壓力傳感器：半導體壓電阻抗擴散式(Si-MEMS)方式和使用壓電薄膜(SUS隔膜)方式。每方式都有個自的特點，我們根據用途提供種類繁多的壓力傳感器產品。

讓我們仔細看看每種方式的工作原理。

Ⅰ. 半導體壓電阻抗擴散式（Si-MEMS方式）

隔膜橫截面

Si-MEMS 方式主要利用了單晶矽的壓阻效應，是指當半導體受到應力作用時，由於應力引起能帶的變化，能谷的能量移動，使其電阻率發生變化的現象。

單晶矽用於壓敏元件以形成隔膜。通過熱擴散在矽單晶上形成的壓阻效應，接收隔膜在壓力下的變形作為應力。

如下圖所示，連接4個壓電電阻，組成惠斯通電橋電路。該橋式電路由恆定電流(標稱電壓DC 1.5mA)驅動。當施加壓力時，R2和R3的阻值增加，另一個R1和R4的阻值減小，導致電橋電路不平衡，輸出端出現電壓差。該電壓差成為與壓力成正比的輸出電壓。負壓原理與正壓原理相同，只是極性相反而已。

右側隔膜的截面圖中，為了便於理解，故意誇大了隔膜的變形(拉伸或彎曲)(指紅色虛線部分)，但實際隔膜變形量極小，幾乎是幾微米無法看到的。由於Si-MEMS方式，可以通過輕微的機械變形獲得很大的電阻變化。作為壓力輸出特性，特徵是相對於扭曲量(=應變比)的輸出轉換效率高。

Ⅱ. 壓電薄膜傳感器（SUS隔膜法）

壓電薄膜傳感器元件橫截面圖

Ⅱ. 壓電薄膜傳感器（SUS隔膜法）

該方式具有通過絕緣膜在金屬隔膜上形成一種薄膜動態應變的結構。當施加壓力時，金屬膜片發生變形，形成在膜片上的薄膜應變片發生變形，從而檢測出應變片電阻值的變化。

如下圖所示，薄膜型傳感器也與硅MESM一樣，連接四個薄膜電阻，形成惠斯通電橋電路。薄膜電阻由恆定電壓驅動，當施加壓力時，金屬膜片上形成的薄膜電阻發生變形(拉伸或彎曲)以檢測表電阻值的變化，得到與壓力成正比的電壓信號。

與Si-MEMS方法相比，壓力輸出特性小，因此不適用於低壓區域，適用於需要高真空的高壓應用環境裡。另外，這種方法的特點之一是可以拓寬工作溫度範圍，受溫度影響小。

1. 歷 史

我們的壓力傳感器業務，自從1980年開始製造和銷售電子血壓計以來，已經發展並持續了40多年。現在被廣泛應用於半導體製造設備・工業機械・醫療設備・分析設備・測量設備和液壓設備等各個行業。

業務基地是櫪木縣的佐野事業所。我們在這裡生產從傳感器芯片到最終產品的所有業務，如今已發展成為我們公司的領先業務。

2. 豐富的產品陣容

我們擁有模塊型，內置放大器型，通過施加特定的壓力值來打開和關閉壓敏元件的觸點的壓力開關，以及帶顯示的壓力計等，多種不同形式的壓力傳感器產品。傳感器元件的種類有，半導體壓電阻抗擴散式Si-MEMS方式和壓電薄膜(SUS)方式。其中Si-MEMS方式有，用於非腐蝕性氣體的單晶矽膜片和通過在接液部分設置SUS隔膜構成矽雙隔膜(矽油封裝隔離)和，可用於液體等腐蝕性介質裡的兩種。我們根據用途和環境適當使用傳感器元件，並將其開發成各種最終產品。

方 法	Si-MEMS (單晶矽薄膜)	Si-MEMS (雙薄膜)	金屬薄膜 (SUS薄膜)
構 造
	單晶矽元件通過玻璃中包含的Na離子通過陽極鍵合而鍵合到玻璃基座上。元件直接接收介質。	SUS隔膜通過激光焊接與外殼連接，壓力通過矽油傳送到矽元件裡。	通過使絕緣膜穿過SUS薄膜片，氣相沉積形成壓電薄膜。
介 質	無腐蝕性氣體	不腐蝕接液部材的氣體/液體	不腐蝕接液部材的氣體/液體
特 徵	通過使用絕緣膜穿過金屬膜片，氣相沉積形成壓電薄膜 特性隨溫度而變化，但在一定溫度下再現性高 壓力高/輸出大，高精度 (在額定100 kPa裡，約100 mV) 無機械運動部件，使用壽命長 大批量生產和低成本製造可能		適用於真空, 高溫和低溫 溫度引起的特性變化很小 通過單一型號的批量生產可以實現低成本製造 電解拋光對應
壓力傳感器各種陣容系列
壓力传感器模塊	P-2000, P-3000S	P-8300, P-8305, P-8505	―
內置放大器 壓力傳感器	PA-20, PA-100, PA-500	P-7100, PA-750/758, PA-800, PA-830/838, PA-838-D, PA-850/858, PA-860/868	高真空對應: PA-920S/928S 高溫對應(~150°C): PA-930/930-A 高壓/低·高溫對應(-40~125°C): PA-970S/971S/972S/973S/978S
壓力開關	PS20, PS30, PS40, PS6, PS60	PS8, PS83, PS85, PS86	高真空對應: PS91 高壓/低·高溫對應(-40~125°C): PS97
壓力顯示計 便攜式數字壓力計	PG-30, PG-200,PG-100N	PG-35, PG-75, PG-208, PG-100B	高真空對應: PG-20, PG-35L 高壓對應: PG-35H

※此外，還標準陣容 PZ-30 和 PZ-200 兩個系列的壓力指示器。

近年來，我們還積極推出帶有比例輸出的內置小型放大器的類型和使用薄膜元件的高真空・高壓・高溫對應的新產品等，正在擴大我們的業務領域。

1.一站式業務架構

我們充分利用半導體技術從傳感器元件內部製造，並通過安裝，溫度補償，電子電路附加和外殼等工藝進一步開發和製造壓力傳感器最終產品。

• 

  
  矽片 ⇒ 傳感器元件
• 
  壓力傳感器模塊
• 
  內置放大器的各種壓力傳感器

對應多品種・小批量的生產為基礎，從開發設計到傳感器元件製造工程，產品組裝工程/校準，全部在各部門的綜合品質管理下進行是我們最大的特點。並且可以詳細對應特殊規格和各種客戶需求的這種業務結構正是我們的強項。

2. 定制產品個別對應

― 個別對應方針 ―

對於個別對應的敝司方針為如下:

我們的壓力傳感器供應系列總數為92機種，按型號數為1,992種。其中，個別對應，即所謂的特殊產品，按貨幣計算佔總數的近80%。結果表明，我們已經能夠響應市場和客戶的個別要求提供了許多產品和服務。下面，我們將介紹一些特殊產品的具體例子。

個別對應實例

1. 電解拋光+無油處理+清潔包裝

電解拋光/無油處理/清潔包裝，通常是半導體製造設備中的在線管道應用種必不可少的。首先，在「電解拋光」中通過化學拋光提高平整度，使受壓部分不殘留雜質。此外，「無油處理」通過清潔受壓部分的有機物來防止污染。同樣，「清潔包裝」可防止來自外部的污染，並保證壓力傳感器產品在客戶使用之前的清潔狀態。

2. PA-75系列: 電纜連接器對應 /電纜本體直出

• 
  標準型號
• 
• 
• 
  ①電纜連接器規格
• 
  ②電纜本體直出規格

PA-750/758 系列的標準產品使用連接器類型，以便主體和電纜可以連接和拆卸，電纜尖端有引線。還有根據市場/客戶的需求，具有(1)指定連接器的安裝和(2)從主體直接電纜輸出的兩個實績。

3. PS20: 特殊接頭規格

• 
  標準型號
• 
• 
• 
  特殊接頭規格

PS20系列的標準產品是M5公螺紋和M5母螺紋，但我們根據市場需求提出了對應特殊接頭的方案，這些接頭可以在延長模塊尖端並製作M5孔後用安裝螺釘固定。

4. 其他 案例

a. 规格/性能变更

b. 外觀/形狀變更

c. 其他

最終，我們將考慮業務可行性等做出適當的決定。請參考上述內容，隨時通過以下按鈕與我們聯繫以獲取定制產品對應和共同開發的要求。

1. 產品關係

1. 關於電纜規格(電纜芯線直徑等)
Q. 要連接器連接到電纜裡，請告訴電纜規格是什麼？	Answer 要連接器連接到電纜裡，請告訴電纜規格是什麼？ -- Answer -- 有關各種壓力傳感器的電纜規格，請參閱電纜芯直徑表（PDF）。 纜芯線一覽表 壓接接觸針時的注意事項 1. 選擇廠家推薦的芯線和接觸針尺寸。 2. 按照製造商規定的長度剝去芯線。 3. 用製造商推薦的壓接工具。。
2. 適用介質中的非腐蝕性氣體範圍围
Q. P-2000和P-3000S的適用介質是非腐蝕性氣體，是否可以使用含有水蒸氣的空氣？如果無法使用，請推薦可用的型號？	Answer P-2000和P-3000S的適用介質是非腐蝕性氣體，是否可以使用含有水蒸氣的空氣？如果無法使用，請推薦可用的型號？ -- Answer -- P-3000S的結構是傳感器芯片直接接觸介質，所以由於水分的影響而改變特性。但，雙膜片式傳感器PA-800是通過不銹鋼膜片施加壓力，封閉的矽油傳遞壓力的結構，因此可以測量水蒸氣或液體的壓力。可以使用於包含水蒸氣的空氣裡的型號有，壓力傳感器(module) P-8300/P-8505， 壓力傳感器 (with Amp.) PA-750/758，PA-830/838。壓力開關 PS83/PS85，壓力顯示計 PG-35/PG-75。有關詳細信息，請參閱產品信息頁面上的每個產品信息以及壓力傳感器產品手冊（PDF）中記載的適用介質。 P-3000S 內部結構図 PA-800 內部結構図 從產品資訊頁面確認每個壓力感測器產品 請點這裡 壓力傳感器產品手冊 壓力傳感器產品手冊/a>
3. 处處理噪音(屏蔽處理）
Q. 正在使用壓力傳感器 (with Amp.)，但是因為受到噪音的影響輸出變動。該設備安裝側是絕緣的，接收側的屏蔽線未連接時使用。是否有良好的對策？	Answer 正在使用壓力傳感器 (with Amp.)，但是因為受到噪音的影響輸出變動。該設備安裝側是絕緣的，接收側的屏蔽線未連接時使用。是否有良好的對策？ -- Answer -- 由由於FG處於與設備側和接收側都絕緣的狀態，所以噪音傳播到電纜裡，並引起輸出變動。如果接收側的屏蔽線接地，不易受噪音影響。 (a) 傳感器接地時 (b) 傳感器被絕緣時
4. 壓力開關的開關設定方法(例如：PS91系列）
Q. 正在嘗試使用壓力開關PS91的KF25法蘭來檢測真空爐的大氣壓。不知道如何選擇N1和N2，當從真空恢復到大氣壓時ON，從大氣壓到真空是在-80kPa裡ON。請告訴如何選擇和設置開關量輸出。	Answer 正在嘗試使用壓力開關PS91的KF25法蘭來檢測真空爐的大氣壓。不知道如何選擇N1和N2，當從真空恢復到大氣壓時ON，從大氣壓到真空是在-80kPa裡ON。請告訴如何選擇和設置的開關量輸出。 -- Answer -- 關於PS91的開關輸出操作，N1/P1類型的SW1和SW2，都是當壓力升高時，將打開ON。 N2/P2類型的SW1是壓力下降時打開ON，SW2是壓力上升時打開ON。要從真空側恢復到大氣壓時，SW打開ON；從大氣壓恢復到-80 kPa時，SW打開ON，就要選擇N2/P2類型。 PS91 N2/P2類型的开关输出操作 開關設置方法如下。請準備PS91-102V-N2-K2，數字壓力計，壓力調節閥，真空泵，恆壓電源和用於微調的精密螺絲刀。至於PS91的接線，紅色的引線是電源+，黑色的引線是common，請正確連接到電源。將電源設置為與設備相同的電壓。關於配管，如下圖所示，在PS91和真空泵之間連接數字壓力計和壓力調節閥。首先，設置SW達到大氣壓力時開啟ON。關閉真空泵，並將施加到PS91的壓力設置為大氣壓。由於PS91的SW2是在壓力升高時打開的操作模式，因此請向右旋轉背面的設定微調器2，操作指示燈LED點亮的點是就是SW2在大氣壓下打開的指示點。接下來，在壓力調節閥打開的情況下，打開真空泵並用數字壓力計確認已達到真空，然後關閉真空泵並將其釋放到大氣中。當數字壓力計達到0時，請確認PS91操作指示燈LED是否點亮。接下來，將SW設置為在大氣壓變為-80 kPa時打開。首先，在壓力調節閥關閉的情況下打開真空泵。逐漸打開閥門並調節至-80kPa。由於PS91的SW1是壓力下降時開啟的操作模式，因此背面SW1朝右旋轉且操作指示燈LED點亮的點就是-80 kPa開啟的點。在此，將真空泵設置為OFf並返回大氣壓。確認返回大氣壓後，關閉閥門並打開真空泵。逐漸打開壓力調節閥，並在數字壓力計達到-80 kPa時檢查操作顯示LED點亮。設定壓力的技巧是緩慢調整設定微調器和壓力調節閥。
5. PCB安裝類型的推薦焊接條件
Q. 將P-2000焊接到印刷電路板上，是否有任何推薦的焊接條件？	Answer 將P-2000焊接到印刷電路板上，是否有任何推薦的焊接條件？ -- Answer -- 各種傳感器的推薦焊接，請參考推薦的焊接條件PDF。 推薦焊接條件 焊接注意事項 1. 焊接基板安裝類型 P-2000，P-3000S，PA-100時，請勿流動或回流，並手工焊接。 2. 清潔助焊劑時，請勿將其浸入清潔液中，而要用浸有清潔液的布擦拭。 3. 注意不要讓助焊劑，清潔液或防潮材料進入傳感器或大氣開放口。 4. 將端子機械定位後，將其焊接到印刷電路板上，以免對壓力端口和端子施加機械力。
6. 用於連接軟管和M5內螺紋的推薦接頭
Q. 想使用壓力傳感器的M5內螺絲連接到軟管上，有推薦的附件嗎？	Answer 想使用壓力傳感器的M5內螺絲連接到軟管上，有推薦的附件嗎？ -- Answer -- 壓力傳感器和聚氨酯/尼龍管的連接推薦如下表所示的接頭。 製造商 接頭類型 管外径 (mm) φ4 (2.5×4) φ6 (4×6) Koganei Co., Ltd. 快速接頭 TS4-M5M TS6-M5M TAC接頭 BF4 BF6 NIHON PISCO CO., LTD. 管接頭 PC4-M5 PC6-M5 管接頭 PC4-M5M PC6-M5M 迷你管接頭 LC-0425-M5 LC-0640-M5 ※關於接頭的尺寸規格詳情，請諮詢上述廠家。
7. 用于快速接头连接的推荐软管
Q. 請告訴我連接到快速接頭的推薦軟管。	Answer 請告訴我連接到快速接頭的推薦軟管。 -- Answer -- 聚氨酯/尼龍管推薦下表所示的軟管 制造商 管類型 管外徑 (mm) φ4 (4×2.5) φ6 (6×4) Koganei Co., Ltd. 尼龍管 N4B N6B 聚氨酯管 U4 U6 NIHON PISCO CO., LTD. 尼龍管 NA0425 NA0640 聚氨酯管 UB0425 UB0640 ※最高使用壓力等軟管規格詳情請諮詢上述廠家。
8. 錐形螺釘的推薦緊固扭矩
Q. 請告訴我錐形的推薦緊固扭矩。	Answer 請告訴我錐形的推薦緊固扭矩。 -- Answer -- 緊固扭矩請參照下述Fig.。接頭為錐形螺釘時，請在螺絲部纏上密封帶並擰入合適的配管。此時，請將密封帶從螺絲前端空出2山左右的間隙開始纏繞。從螺絲前端開始纏繞的話，破裂的密封帶有時會混入管道內。請按住纏好的密封帶，使之適應螺釘後，擰入管道。 擰入時的扭矩標準如下表所示。請在考慮連接器材質的同時，設定最佳值。 (Fig.) 螺絲形狀 緊固扭矩 R 1/8 7 ~ 9(N·m) R 1/4 12 ~ 14(N·m) R 3/8 22 ~ 24(N·m) M 5 1.0 ~ 1.5(N·m)
9. 端口方向對輸出的影響
Q. 使用雙重隔膜的壓力傳感器。端口朝下和橫向是輸出會發生變化，是故障嗎？	Answer 使用雙重隔膜的壓力傳感器。端口朝下和橫向是輸出會發生變化，是故障嗎？ -- Answer -- 本公司採用雙重隔膜構造的壓力傳感器中，裝入了矽油，傳感器元件檢測矽油的自重，輸出發生變化。如果安裝方向恆定，則輸出將恆定。此外，由於機型和壓力範圍不同，姿勢的影響也不同，詳情請從產品信息頁面上登載的各產品的規格信息中確認。 e.g. P-8300 內部結構圖 名稱 材料 ①填充液體 矽油 ②傳感器芯片 矽單晶 ③橫膈膜 SUS316L ④補償電阻板 陶瓷 ⑤大氣壓力釋放口 (僅表壓類型) 鐵+鍍金 ⑥端口 SUS316L ⑦引線 銅+鍍金
10. 接通電源後的穩定性(建議預熱）
Q. 在共通注意事項上指出，打開設備電源後其預熱約10分鐘可以獲得更準確的測量，但在這10分鐘內輸出電壓 [V] 會發生多大變化？另外，輸出電壓是否線性變化。	Answer 在共通注意事項上指出，打開設備電源後其預熱約10分鐘可以獲得更準確的測量，但在這10分鐘內輸出電壓 [V] 會發生多大變化？另外，輸出電壓是否線性變化。 -- Answer -- 接通電源後，如下述Fig.所示，ZERO點偏移10分鐘左右即可穩定。因此，通過預熱10分鐘左右，輸出穩定，可以高精度測量。 Fig.) 接通電源後的ZERO點穩定性（本公司產品比） ※參考圖表（根據產品變化的方向和變化量會發生變化)
11. 適用於高真空領域的產品(注意壓力下限值）
Q. 在真空室中，PA-850-102A-NR2用於監視內部壓力。在這個過程中，絕對壓力將壓力減到0kPa附近，但是，目錄中的真空使用下限值是1.3kPa abs.。為什麼不能使用呢？另外，如果有可以使用的壓力傳感器，請介紹。	Answer 在真空室中，PA-850-102A-NR2用於監視內部壓力。在這個過程中，絕對壓力將壓力減到0kPa附近，但是，目錄中的真空使用下限值是1.3kPa abs.。為什麼不能使用呢？另外，如果有可以使用的壓力傳感器，請介紹。 -- Answer -- 本公司的雙隔膜型壓力傳感器，如果長時間在高真空中使用，由於矽油中殘留的空氣影響，輸出可能會發生偏差，因此真空使用下限值為1.3kPa abs.。 超出真空壓力下限值1.3 kPa abs使用時，建議使用高真空支持產品（薄膜型）。請參照下表。 A. 雙隔​​膜(油封)型 系列名 壓力下限 P-8300, P-8305, P-8505, PA-750, PA-758, PA-800, PA-830, PA-838, PA-838-D, PA-840, PA-848, PA-850, PA-858, PS8, PS83, PS85, PG-35,PG-75, PG-208, PG-100B 1.3 kPa abs. B. 薄膜型(對應高真空) 系列名 PA-920S, PA-928S, PA-930, PA-930-A, PS91, PG-20, PG-35L 薄膜型壓力傳感器 產品陣容 點擊此處.
12. 關於介質的使用溫度範圍
Q. 請告訴壓力表PG-35中可以使用的溫度範圍嗎？雖然現在使用的是常溫的水，但是今後想使用加熱過的水，所以想知道液體溫度的範圍。	Answer 請告訴壓力表PG-35中可以使用的溫度範圍嗎？雖然現在使用的是常溫的水，但是今後想使用加熱過的水，所以想知道液體溫度的範圍。 -- Answer -- PG-35中可使用的液體溫度範圍與動作溫度範圍相同，為-10～50℃。動作溫度範圍因機型而異，詳情請參照產品信息頁和壓力傳感器產品指南（PDF）。 如果要擴展溫度範圍，也可以在某些條件下考慮，所以請向交易的或者最近的銷售辦事處，經銷商或代理商 請聯繫。 從產品信息頁面確認壓力傳感器各產品  點擊這裡 压力传感器产品指南
13. 綜合精度(室溫/非室溫下的差異）
Q. 為什麼手持式壓力液晶顯示計PG-100B的綜合精度有±0.5%F.S.±2digits 和±1.0%F.S.±2digits 這兩個因素？另外，請告訴我±2digits的意思。	Answer 為什麼手持式壓力液晶顯示計PG-100B的綜合精度有±0.5%F.S.±2digits 和±1.0%F.S.±2digits 這兩個因素？另外，請告訴我±2digits的意思。 -- Answer -- ±0.5%F.S.±2digits（25°C±5°C）為環境溫度25°C恆定時的額定壓力範圍內的精度。 ±1.0%F.S.±2digits（25°C±25°C）是溫度變化為0~50°C時的額定壓力範圍內的精度。 ±2digits表示顯示的最小位數包含±2digits的誤差。
14. 額定壓力/最大壓力/破裂壓力的定義
Q. 請告訴我目錄中“額定壓力範圍”和“最大壓力”的含義。另外，如果超過“破裂壓力”，傳感器會損壞嗎？	Answer 請告訴我目錄中“額定壓力範圍”和“最大壓力”的含義。另外，如果超過“破裂壓力”，傳感器會損壞嗎？ -- Answer -- 額定壓力範圍是保證壓力傳感器規格的壓力值。最大壓力是指能夠施加到壓力傳感器上的最大壓力值。即使超過額定壓力施加最大壓力，也保證額定壓力內的規格。但是，偏移電壓/零電壓/零電流有可能發生變化。破壞壓力是指壓力傳感器電氣或機械破壞的壓力值。這種情況下，測量中的壓力介質很可能洩漏到外部，需要注意。
15. PG-100用鋰電池的購買方法
Q. 手持式壓力液晶顯示計PG-100的更換用電池明確記載為鋰電池DC3.6V，最初附帶的是東芝的ER6VM/3.6型號。東芝的主頁上沒有登載該產品，登載了ER6V P3.6。這邊也可以使用嗎？	Answer 手持式壓力液晶顯示計PG-100的更換用電池明確記載為鋰電池DC3.6V，最初附帶的是東芝的ER6VM/3.6型號。東芝的主頁上沒有登載該產品，登載了ER6V P3.6。這邊也可以使用嗎？ -- Answer -- PG-100用鋰電池是，只能用toshiba-lifestyle生產的“ER6VM/3.6”。這邊沒有市售，所以、附近或有交易銷售辦公室/分銷商里，以型號「鋰電池（PG用）」申請後請購買。另外，請勿拆卸，短路，充電，著火或加熱鋰電池。請依照客戶所在地區的指定，正確廢棄已使用的鋰電池。長時間不使用時，請從本體上取下，放在乾燥的低溫處保管。
16. 符合UL991的產品陣容
Q. 正在考慮一種用於半導體製造設備的壓力傳感器，有適合UL991的嗎？	Answer 正在考慮一種用於半導體製造設備的壓力傳感器，有適合UL991的嗎？ -- Answer -- 作作為符合UL991的產品有，對應模組化氣體供應系統的壓力顯示計PG-20系列。 压力显示计 PG-20系列 壓力顯示計 PG-20系列 ※壓力顯示計PG-20系列的詳細資訊, 點擊此處
17. 如何處理壓力表產品的 "E2 error”
Q. 使用壓力計PG-75時，可能是長時間切斷電源，啟動時進行了零調整，顯示“E2錯誤”。請告訴我處理方法。	Answer 使用壓力計PG-75時，可能是長時間切斷電源，啟動時進行了零調整，顯示“E2錯誤”。請告訴我處理方法。 -- Answer -- 如果殘餘壓力超過±10%進行零調整，則會發生“E2錯誤”。應對方法是按PG-75的“M鍵”解除錯誤。請在大氣開放後，再次進行零調整。另外，PG-75的面板操作在該系列的使用說明書（PDF）中有詳細記載，請一併參照。 PG-75 使用说明书
18. 未規定的驅動電源使用帶來的影響
Q. P-3000S的標準規格是恆定電流1.5mA驅動，請告訴我恆定電壓5V驅動時的問題。另外，將恆定電流驅動時的電流設為1mA時，線性和溫度特性的精度如何？	Answer P-3000S的標準規格是恆定電流1.5mA驅動，請告訴我恆定電壓5V驅動時的問題。另外，將恆定電流驅動時的電流設為1mA時，線性和溫度特性的精度如何？ -- Answer -- P-3000S是內置溫度補償電路的高精度壓力傳感器。溫度補償是以恆定電流1.5mA為驅動電源，在0~50℃的範圍內優化溫度。即使在恆定電壓5V下使用驅動電源也會動作，但溫度特性會變差。恆電流為1mA時，輸出電壓下降，溫度特性也會變差。
19. ZERO點產生誤差時的應對方法
Q. 使用手持式壓力液晶顯示計PG-100，打開電源後顯示為“-0.3”。通常認為是“00.0”，是故障嗎？	Answer 使用手持式壓力液晶顯示計PG-100，打開電源後顯示為“-0.3”。通常認為是“00.0”，是故障嗎？ -- Answer --   PG-100可能會因溫度變化等導致零顯示偏移。主機上部有ZERO調整用，請使用精密驅動器進行調整。此外，新型乾電池供電類型的零點調整是可以按住一鍵按鈕來操作的數字類型。 1.  現有產品: 乾蓄電池供電型（2種） PG-100N 使用說明書 PG-100B 使用說明書 2.  停產產品：鋰電池供電型 PG-100 使用說明書 了解各種便攜式壓力計 點擊此處
20. 手持式壓力液晶顯示計電池更換時期
Q. 如果手持式壓力液晶顯示計電池量不足，壓力表顯示會減少嗎？ 請讓我知道是否有確認方法可以作為更換指南。	Answer 如果手持式壓力液晶顯示計電池量不足，壓力表顯示會減少嗎？ 請讓我知道是否有確認方法可以作為更換指南。 -- Answer --   電池電量不足時，LCD螢幕左上方會顯示“ LOBAT”，通知您電池更換時間。 1.  現有產品： 乾蓄電池供電型（2種） PG-100N 使用說明書 PG-100B 使用說明書 2.  停產產品：鋰電池供電型 PG-100 使用說明書 各種手持式壓力液晶顯示計 點擊此處
21. 關於傳感方法及傳感器材料
Q. 壓力表PG-35用於我們的真空裝置的大氣壓檢測裡。現在，裝置裡檢討的最終用戶的設備規格有「大氣壓傳感器使用半導體式傳感器，隔膜的材質用不銹鋼」的指定，本公司的PG-35對應嗎？	Answer 壓力表PG-35用於我們的真空裝置的大氣壓檢測裡。現在，裝置裡檢討的最終用戶的設備規格有「大氣壓傳感器使用半導體式傳感器，隔膜的材質用不銹鋼」的指定，本公司的PG-35對應嗎？ -- Answer -- PG-35的接觸液部使用SUS316L，符合您的要求。但是，PG-35的傳感器模塊使用雙膜片式壓力傳感器，並填充有矽油。在高真空中使用時，矽油中包含的空氣可能會形成氣泡，零電壓可能會移動。如果壓力達到或低於1.3kPa abs.，推薦使用未使用矽油的薄膜型元件的PG-35L。 A.  雙隔​​膜(油封)型 系列名 壓力下限 P-8300, P-8305, P-8505, PA-750, PA-758, PA-800, PA-830, PA-838, PA-838-D, PA-840, PA-848, PA-850, PA-858, PS8, PS83, PS85, PG-35,PG-75, PG-208, PG-100B 1.3 kPa abs. B. 薄膜型(對應高真空) 系列名 PA-920S, PA-928S, PA-930, PA-930-A, PS91, PG-20, PG-35L 薄膜型壓力傳感器產品陣容  點擊此處
22. 含有機溶劑介質的壓力計選擇
Q. 正在使用手持壓力計PG-100、是否可以將其用於含有稀有機溶劑的流體中？	Answer 正在使用手持壓力計PG-100、是否可以將其用於含有稀有機溶劑的流體中？ -- Answer -- PG-100的適用介質是非腐蝕性氣體（無濕氣或惰性氣體的空氣）。測量含有有機溶劑的流體壓力時，推薦在受壓部使用SUS316L的“PG-100B”。 查看手持壓力計PG-100B的詳細信息，點擊此處
23. 在海拔較高的地方使用/指示方式的種類
Q. 考慮在高度1000m的土地上使用壓力開關PS6-12G-NAR。可以使用嗎？	Answer 考慮在高度1000m的土地上使用壓力開關PS6-12G-NAR。可以使用嗎？ -- Answer -- PS6-102R-NAR的指示方式為表壓。以大氣壓為基準（0kPa）的壓力開關，高度1000m的高地基準是大氣壓，可以使用。 壓力指示方式
24. 停產信息
Q. 請告訴本公司壓力傳感器產品的停產信息。	Answer 請告訴本公司壓力傳感器產品的停產信息。 -- Answer -- 本公司HP品信息頁面上刊登了生產中止品和替代品的信息。 關於生產中止品的信息, 點擊此處
25. 關於壓力顯示計 PG-30/PG-35操作面板設定模式
Q. 購買的壓力顯示計PG-35，認為透過面板可以操作設定各種模式。因此查看使用說明書嘗試進行操作，但是設定不好搞定。有沒有初學者也都可以理解的解說資料呢？	Answer 購買的壓力顯示計PG-35，認為透過面板可以操作設定各種模式。因此查看使用說明書嘗試進行操作，但是設定不好搞定。 有沒有初學者也都可以理解的解說資料呢？ -- Answer -- 壓力顯示計PG-30/35系列的各種操作面板設定模式，YouTube影片以易於理解的方式進行說明。點擊下面的按鈕，請觀看YouTube影片。 影片分別創建PG-30 / PG-35的各種設定。 初始設定模式   壓力設定模式操作 顯示調零, 無顯示及面板鎖定設定操作     PG-30/35 系列使用說明書

2. 關於資料·各種證書關係

3. 關於維修、校正相關問題